Marktsegment:
Halbleiter- und Mikroelektronikindustrie
Unser Partner ist ein weltweit führender Hersteller von Lithographiesystemen für die Halbleiterfertigung.
Addit ist an Projekten zur Herstellung von Komponenten für hochentwickelte Lithographiesysteme beteiligt und nutzt dabei seine Kompetenzen in den Bereichen Blechbearbeitung, hochpräzise CNC-Bearbeitung, Oberflächenvorbereitung sowie Reinigungsprozesse für Anwendungen mit höchsten Reinheitsanforderungen.
Eine besondere Herausforderung dieses Projekts war die Entwicklung eines stabilen Fertigungsprozesses für dünnwandige Aluminiumbauteile, bei denen selbst geringfügige Verformungen die Funktionalität der fertigen Baugruppen beeinträchtigen können.
Eine weitere zentrale Anforderung war die Einhaltung der äußerst strengen Reinheitsstandards der Halbleiterindustrie. Addit implementierte mehrstufige Waschprozesse, Ultraschallreinigung, UV-Inspektionen sowie Verpackungsprozesse, die in einer Reinraumumgebung gemäß ISO 14644 Klasse 7 durchgeführt werden.
Das Projekt trug maßgeblich zum Ausbau der spezialisierten Kompetenzen von Addit in der Fertigung von Komponenten für die Halbleiterindustrie bei und bildete die Grundlage für die weitere Entwicklung der Reinrauminfrastruktur sowie der kontaminationskontrollierten Fertigungsprozesse des Unternehmens.
Projektumfang:
- Analyse der Qualitäts-, Technologie- und Reinheitsanforderungen für Komponenten von Lithographiesystemen
- Entwicklung von Fertigungstechnologien für Blechbauteile zur Erreichung der geforderten Reinheitsklassen
- Einführung eines Fräsprozesses für dünnwandige Aluminiumbauteile mit kontrollierter Verformungsminimierung
- Fertigung von Komponenten mittels Blechbearbeitung und CNC-Bearbeitung
- Oberflächenvorbereitung für den Eloxalprozess gemäß den Kundenspezifikationen
- Einführung mehrstufiger Wasch-, Ultraschallreinigungs- und Trocknungsprozesse
- Durchführung von Montage-, Reinigungs-, Inspektions- und Verpackungsprozessen in einer Reinraumumgebung gemäß ISO 14644 Klasse 7
- Reinheitsprüfung der Komponenten anhand validierter Inspektionsverfahren
- Sicherstellung einer reproduzierbaren Qualität, vollständigen Prozesskonformität sowie einer sicheren Verpackung der Komponenten für den Transport und die anschließende Integration in die Reinraumumgebung des Kunden
